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Quanta™ 3D DualBeam™ (FIB/SEM)

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材料特性評価、故障解析など柔軟性の高いFIB/SEM

2次元および3次元の材料特性評価および分析においてFEIで最も多様性の高いDualBeamを搭載したQuanta 3Dには、3つのSEM画像処理モード(高真空、低真空、ESEM)を備え、あらゆるSEMの幅広い試料に順応します。 内蔵の集束イオンビーム(FIB)は、断面機能を追加してアプリケーション範囲を拡張できます。 ESEMモードは、異なる湿気レベル(最大100% RH)と温度(最大1500° C)における材料の動的挙動を現場で研究することができます。

> Quanta 3D FEG DualBeam のデータシートをダウンロード
> Quanta 3D FEG 600 DualBeam のデータシートをダウンロード
> Quanta 3D FEG 200i DualBeam のデータシートをダウンロード

Quanta 3D DualBeamファミリー(集束イオンビームと走査電子顕微鏡の統合)は、材料の特性評価、故障解析、プロセス制御が必要な技術者や研究者に新しい柔軟性と機能を提供します。 従来の熱放射型走査電子顕微鏡(SEM)と集束イオンビーム(FIB)を組み合わせて既存の特性評価研究ツールを補足し、3次元の特性評価とナノ分析、TEM試料調製、ナノメートル規模で試料表面の構造変更などのアプリケーション幅を拡張します。

•  Quanta 3Dは、産業または教育の環境において材料の特性評価、故障解析、プロセス制御が必要な技術者や研究者に新しい機能と柔軟性を提供します。
•  Quanta 3D FEG は、二次元および三次元特性評価および分析において最も万能な高分解能、低真空SEM/FIBです。
•  Quanta 3D FEG 600 は、要求の厳しい3次元ナノキャラクタリゼーション、ナノプロトタイピング、in-situ 研究アプリケーションに多様性と精度を提供します。
•  Quanta 3D 200i は、産業または教育の環境において材料調査、故障解析、試料調製を行う専用のキャラクタリゼーション機器です。
  電子ビーム分解能 加速電圧 プローブ現在のステージ
倍率 イオンビーム分解能
Quantaは3D200i 3.5 nmの@ 30 kVの
@高真空モード
200V – 30kV up to 1 μA マックス。水平方向のフィールドの幅:10ミリメートル
約に相当する。
クワッドビューで10倍の倍率
10nmの
@ 30 kVの
@ 1 pAの
Quantaは3D FEG 30kVで1.2nm
(高いSE)
30kVでする場合は1.5Nm
(低SE)
200V - 30kVの 最大200nAに 30 × - "クワッド"モードで1280 KX 7nmの
30 kVで
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半導体およびデータストレージ研究、研究施設、 工業用アプリケーションの課題に対応する高分解能の画像処理、分析、 制御用の装置です。

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