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Vion Plasma集束イオンビーム

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Vion製品(右) 240px

1台の使いやすい装置に搭載したクラス最高のミリングおよびイメージング性能

FEI Vion™ プラズマ集束イオンビームシステム(PFIB)を導入すると、その1台の使いやすい装置に搭載したクラス最高のミリングおよびイメージング性能により、ラボの処理能力が大幅に向上します。プラズマイオン源技術搭載により、Vion PFIBは従来のガリウムFIB装置と比較してスループットが向上しており、試料調製以外に部位固有の断面生成および大面積ミリングの速度が20倍以上になっています。低ビーム電流での素晴らしいミリング精度と高分解能イメージング両方のおかげで、Vion PFIBは、多様なプロセス制御、故障解析、または材料研究の各用途にとって必要不可欠な高速、正確、かつ高コントラストの画像を提供します。

> Vion Plasma FIBデータシートをダウンロード 

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FEI DualBeam装置の理解

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