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走査型電子顕微鏡(SEM)

SEM_Regional_LP_240

ナノスケールの分析およびキャラクタリゼーションを実現するプレミアムSEMソリューション

走査型電子顕微鏡(SEM)は、光学顕微鏡の倍率をナノスケールまで拡大し、材料のトポグラフィー検査に使用されています。FEIは、お客様の要件および用途に合うさまざまな高度な走査型電子顕微鏡(SEM)を提供しています。FEIの走査型電子顕微鏡(SEM)は、微細に集束された電子ビームで試料の表面をスキャンして、幅広い検出器で検出したビームと試料の相互作用による画像を生成できます。 表面情報を提供する二次電子検出器から、高・低真空モードで合成情報を収集する後方散乱検出器まで、さまざまな検出器をご用意しています。
Apreo Iso

材料科学向けApreo

Apreoの画期的な複合レンズは、かつてない程の分解能と信号選択を得るために静電型と磁界型イマージョン技術を組み合わせた設計となっています。この技術によりApreoは磁性材料を含めたナノ粒子、触媒、紛体、そしてナノデバイスの解析に最適なプラットフォームとなっています。

材料科学向けApreo

Teneo_Front

生命科学向けTeneoVS

自然のままの細胞と組織の複雑な3D構造をひも解くことは、生態系の構造機能の相間を理解する上で重要となります。連続ブロック面観察SEM(SBF-SEM)とマルチエネルギーデコンボリューションSEM(MED-SEM)の組み合わせにより、TeneoVSは真の等方的な3D分解能で大きな体積のイメージングを可能にしました。

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Verios 460L_Updated Logo

Verios XHR走査型電子顕微鏡

Veriosは、FEIがリードするXHR (超高分解能) SEMファミリーの第2世代です。従来の走査型電子顕微鏡(SEM)の高スループット、分析機能、試料の柔軟性および容易さはそのままに、1~30 kVでナノメートル以下の分解能と、先進の半導体製造および材料科学アプリケーションにおける材料の精密測定に必要な優れたコントラストを提供します。

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NovaNanoSEM

Nova™ NanoSEM走査型電子顕微鏡

Nova走査型電子顕微鏡(SEM)ラインは、低真空機能を装備し、研究所、半導体およびデータストレージの研究およびその施設、生物学およびライフサイエンスの研究、その他の業界におけるさまざまな画像処理、分析、および試料調製に適しています。Novaシステムには、EBIC、クライオステージ、STEM、EDS、WDS、およびEBSDを搭載できます。

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Quanta SEM

Quanta™ 走査型電子顕微鏡

Quanta走査型電子顕微鏡は、3つのモード(高真空、低真空、ESEM)で用途が広く、SEMシステム用のさまざまな試料に順応する高性能機器です。Quanta SEMシステムは、すべてにエネルギー分散型分光計、波長分散型X線分析、電子後方散乱回折などの分析システムを装備できます。さらに、電界放出電子ガン(FEG)システムには、明視野および暗視野の試料画像処理用のS/TEM検出器が付いています。

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Inspect F50 SEM

Inspect™ 走査型電子顕微鏡

Inspectラインには、それぞれがタングステンおよびFEG向けの2台の走査型電子顕微鏡が装備され、高分解能画像処理を定期的に行う場所で使用されています。コスト効果と柔軟性が高く、最先端の走査型電子顕微鏡は、FEIの高度な技術を採用して構築されているため、材料特性や検査アプリケーションを扱う産業メーカーおよび研究者にも重要な存在です。

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Aspex_Explorer

Aspex

FEIのAspex製品グループは、品質管理、生産能力、および収益性の最適化に役立つ産業用顕微鏡ソリューション用の走査型電子顕微鏡です。

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