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Metrios透過型電子顕微鏡

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Metrios

初の半導体産業専用TEM

半導体メーカーがウェハー製造工程を開発して管理するには、高速で高精度の測定が必要とされます。Metriosシステムは、そのような半導体メーカー専用の初めてのTEMです。基本的なTEM操作および測定手順を幅広く自動化することにより、特殊オペレータ向けトレーニングの要件を最小限に抑えることができます。その最新の自動化された計測学ルーチンにより、手作業の場合より精度が向上します。Metrios TEMは、他のTEMと比較してスループットの向上および1試料当たりのコスト低減を実現するように設計してあります。

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